Absolute calibration of optical flats: long term reproducibility of interferometric measurements
Anno: 2001
Autori: Greco V., Molesini G.
Affiliazione autori: Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Largo E. Fermi 6, 50125 Firenze, Italy
Titolo Convegno: 2nd International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN)
Luogo: Turin
Parole chiavi: Metrology; optical testing; planarity