Thickness measurement of thin trasparent plates with a broad-band wavelenght scanning interferometer
Anno: 2004
Autori: Maddaloni P., Coppola G., De Nicola S., Ferraro P., Gioffrè M., Iodice M., De Natale P.
Affiliazione autori: Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Sez. di Napoli, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy;
Istituto di Cibernetica “E. Caianiello” del CNR, Napoli, Italy;
Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi del CNR, Napoli, Italy
Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS
Parole chiavi: Interferometry
